半導體生產中的設備通信與集成
半導體生產主要分為設計、制造、封測三大流程,在制造和封測兩個流程中需要用到大量的生產設備,包含刻蝕、沉積、清洗、電鍍、封裝、檢測,等等。目前我國半導體行業(yè)快速發(fā)展,生產設備也實現了大量的國產化,技術實現方式也在快速發(fā)展中。
在半導體生產制造中,生產過程的管理由MES、EAP等協(xié)同完成,生產管理系統(tǒng)對設備實時下發(fā)指令,根據工單、配方來控制工藝流程。與此同時,還要從設備中實時獲取各項設備參數、指標、狀態(tài)等數據,獲取設備發(fā)生的各類報警信息以及生產過程中的統(tǒng)計數據等,以便最終對這些上傳的數據進行統(tǒng)計分析,形成批報,指導生產。
半導體生產制造設備種類較多,設備供應商也眾多,他們很多與半導體生產制造廠商是不同廠商,因此,這些設備與制造廠商之間就必須要遵循一定的標準。例如在生產的控制和管理過程,都要遵循一套半導體行業(yè)規(guī)范,其中就包括了半導體生產設備與管控系統(tǒng)的通信標準,也就是SECS/GEM協(xié)議。它規(guī)定了在二者之間通信的統(tǒng)一規(guī)范,包括通信雙方的連接參數配置,支持的通信功能,通信消息的格式,生產關鍵步驟的數據、狀態(tài),生產報警信息,產量和統(tǒng)計數據,控制信號的收發(fā)等一系列內容。
在這樣的背景下,就要求設備廠商需要有對應的解決方案來使產品支持SECS/GEM協(xié)議通信。國內的半導體設備廠商面臨的選擇,通常就是選用支持SECS/GEM的硬件PLC,或者自行組建研發(fā)團隊嘗試通過軟件來實現SECS/GEM協(xié)議,前者成本高且品牌受限,后者開發(fā)和維護人力成本高企且開發(fā)周期長、存在開發(fā)失敗風險,并且功能的穩(wěn)定性待考驗等。
最近國產SCADA軟件開發(fā)商北京九思易自動化軟件有限公司,在SCADA軟件中成功實現了SECS/GEM協(xié)議,在半導體設備的原有PLC(不限品牌)與工廠上層系統(tǒng)之間架設起了一條SECS/GEM的橋梁,也開創(chuàng)了國產自主SCADA軟件對半導體專業(yè)協(xié)議的深入支持。易控軟件通過20年來的市場應用積累,實現了對幾十種品牌型號PLC的通信支持,借此半導體生產制造設備廠商可以將易控搭載在任何生產設備上實現數據接入,再通過易控的SECS/GEM協(xié)議接口,與工廠的上層系統(tǒng)之間實現標準數據和自定義功能的通信與集成,從而使設備提供商專注于打造滿足終端生產制造工廠功能需求的設備,又能方便融入半導體工廠自動化管理。選用支持SECS/GEM協(xié)議的SCADA軟件不失為設備生產廠商和終端生產制造企業(yè)面向未來降低成本、減少風險的一種明智之選。
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