ABB WPA 儀器儀表
詳細介紹
高品質、高產(chǎn)出、低成本是半導體生產(chǎn)行業(yè)所追尋的終極目標。生產(chǎn)流程的嚴格控測是實現(xiàn)該目標的必要條件，清洗生產(chǎn)流程中化學組份濃度監(jiān)測是該目標實現(xiàn)的根本。
傅立葉變換紅外（FTIR）光譜儀是清洗生產(chǎn)流程監(jiān)測的理想分析技術，并已得到廣泛應用。在清洗化學領域，該技術能提供快速、準確的、很高的重復性。
在FTIR技術方領域，ABB一直是全球的領先者。在過去的三十多年里，ABB一直致力于FTIR分析儀的研究與開發(fā)其所研發(fā)的清洗流程分析儀（WPA）是一項基于FTIR技術的方案，能夠滿足半導體生產(chǎn)行業(yè)的嚴格要求。
WPA是一種專為清洗流程在線、實時監(jiān)控而設計的分析設備。該設備可對半導體生產(chǎn)流程的清洗、蝕刻、去光膠液過程中所采用的各種要求極為嚴格的溶液濃度進行監(jiān)測，同時，一臺WPA分析儀可監(jiān)測多達八種不同的流路。
